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压电物镜定位器在激光切割上的应用
   压电物镜定位器专为物镜聚焦显微而设计,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测或观测装置可带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
  激光切割晶圆可分为划片切割与穿透切割。激光经过透镜聚焦,再通过压电物镜定位器精确调整焦点的位置,使焦点准确的定位在晶圆待切割部位,使被切割部位温度急速升高,然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动,在切割材料上形成切缝从而达到切割的目的。
  压电物镜定位器可快速调节聚焦点即加工点的位置,使其在目标切割位置,聚焦行程可达110μm,分辨率可达2.5nm。该定位器为大负载Z轴运动压电物镜定位器,负载能力可达500g,Z轴直线运动范围可达110μm,采用柔性铰链设计机构,无摩擦,直线性好,闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜。
  纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到z快的阶跃时间。它极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率,即使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同时保证了优异的导向精度和动态性。
  压电物镜定位器的最大通光孔径为22mm,最大负载为500g,它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。压电物镜定位器可匹配多种标准镜头,也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。
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