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如何解决压电平台行程小的问题?什么是压电千分尺、压电宏微复合平台?

对于打算利用压电平台进行高精度调节的一些用户,在了解到压电平台的纳米级高精度时,第一时间是一种“求之心切”的心态,想立刻将它集成到自己的系统里,然而在得知压电平台的微米级运动范围时又“望而却步”。

针对这种想用而又却步的使用者,芯明天公司专门设计了压电宏微复合平台,这种平台既得到了压电平台的纳米级高精度,又拥有了几十毫米甚至米级的运动范围!

注:分辨率的数值越低,分辨率越高。

压电宏微复合平台组成介绍

压电宏微复合平台是将压电平台与手调或其他电动平移台相结合,且该结合不会损失压电平台的高分辨率。利用手调平移台的压电宏微复合平台,一般手调行程为13mm,且它的分辨率达10μm,在压电平台精调行程范围内。在手动进行粗调后,再利用压电平台进行纳米级的精调。

如上图所示,压电宏微复合平台由压电平台、千分尺(或其他电动调节台)及移动台面组成,看似简单的结构,然而在设计、生产制造及装配时却有着非常高的难度。压电平台必须与千分尺及移动台面完美的结合,任何一处细节,都要考虑周全,即使只是一处的螺丝。

压电宏微复合平台的运动自由度在1至3维间自由选择,组合式结构使其在三维运动时轴间无耦合。

芯明天具有两种标准压电宏微复合平台,分别为P83、P84系列,两者粗调行程相同,都为13mm,精调行程分别为25μm和100μm,下图为芯明天P83系列,P84系列与P83系列外形近似。

参数、尺寸、外形皆可定制

芯明天标准品压电宏微复合平台中粗调行程标准为13mm,压电精调行程为25μm或100μm可选。而对于压电宏微复合平台的参数等“别有他求”时,是可通过定制来得到的,例如宏动粗调平台的尺寸、外形、参数,以及压电平台的尺寸、外形、参数等,皆可定制。

下图中为定制型压电宏微复合平台,采用压电平台与电机平台相结合,未使用千分尺。它是XY二维运动,每轴的粗调行程达50mm/轴以上,精调行程68μm/轴。

下图是又一款定制型压电宏微复合平台,它是采用Z向运动压电平台与XY手调平台相结合,Z向压电行程达260μm以上,并且中心具有通孔。在完成XY手动调节位置后,可进行Z向的高精度位置调节,非常适用于显微成像等场景。

压电千分尺

而压电千分尺是没有移动台面的压电宏微复合平台,对于一些用户,已经有自己的移动台面,只需压电千分尺这种宏微致动的促动器,对于这种需求,就可以直接选择芯明天的压电千分尺,并且可定制设计接口。 

更多信息,请持续关注芯明天动态!

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