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小体积一维压电旋转台

更新时间: 2020-03-16

P21压电旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,旋转角度可达到7.5mrad,承载能力达0.1kg,可带动镜片做精密旋转运动。

产品运动示意图

小体积、高分辨率、高精度

P21一维旋转台采用机构放大设计原理, 可以实现7.5mrad的旋转, 体积小巧、结构紧凑, 尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。

典型应用

频率负载曲线

应用实例

P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。

技术参数

型号:P21

运动自由度:θz

旋转角度@120V:6mrad(~1240”)   

旋转角度@150V:7.5mrad(~1500”)

闭环传感器:SGS

闭/开环分辨率:0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)

闭环线性度:0.5%F.S.

闭环重复定位精度:0.2%F.S.

推/拉力:10/5N

运动方向刚度:1N/μm

空载谐振频率:1.1kHz

闭/ 开环空载阶跃时间:30/1.5ms

承载能力:0.1kg

静电容量:1.8μF

材质:铝

重量:105g

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