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压电稳像扫描运动与控制系统

N62系列压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心通孔孔径为26mm,可以实现XY轴±10μm的位移行程,产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。

高动态、高分辨率、高定位精度

N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台,是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY轴±10μm的位移行程,分辨率可以达到0.5nm,满行程重复定位精度达纳米级。

产品采用不锈钢材质,特殊的结构设计使其具有非常大的刚度,空载谐振频率达2000Hz,满足工业上对高频率高精度等应用的需求。

动态性能好

N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。

技术参数

型号:N62

运动自由度:X、Y

行程范围@120V: ±8μm/轴

行程范围@150V:±10μm/轴

闭环传感器:SGS

通孔尺寸:Ø26 mm

闭/ 开环分辨率:1/0.5 nm

闭环线性度:0.3%F.S

闭环重复定位精度:0.1%F.S

运动方向刚度:X2.2/Y2.2 N/μm

空载谐振频率:X2000/Y2000 Hz

闭/ 开环空载阶跃时间:1.5/0.7 ms

最大承载:1kg

静电容量:1.6μF/轴

材质:钢、铝

重量:180g

 

配套压电控制器

E70.D3S是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

采用DC24V 供电、集成数字与模拟控制功能、RS-232/RS-422/USB 通讯可选、集成式PZT&sensor 迷你接口便于连接,外部可设定控制功能,操作简单便捷。

技术参数

型号:E70.D3S-I2

功能:数字与模拟集成式控制器

通道数:3

模拟输入范围:0-10V

输出电压范围:0-120V/150V第三路恒压

峰值电流:1.1A/通道

平均电流:70mA/通道

放大器带宽:10kHz/通道

输出电压纹波:5mV(2.2μF)

PZT连接器:ECG.1B.314(LEMO)

控制输入连接器:SMB

传感器类型:SGS

伺服特性:P.I+ 低通+ 陷波

传感输出纹波:10mV

通信接口:RS-232/422、USB

工作温度范围:0-50℃

尺 寸:168.5×134×45.5mm

重 量:1.2kg

供电电压:24V DC1.5A(36W)

控制方式:模拟/ 数字信号控制 

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