压电陶瓷驱动电源传感控制模块参数表
E09系列PZT传感控制模块是给各类PZT或微 动工作台等纳米定位机构中的传感器提供高精准、 高稳定性和高可靠性的激励信号，并检测和处理 PZT或微动工作台等纳米定位机构中的传感器信 号，并将该传感器信号通过内部的算法电路完成伺 服控制。E09PZT传感控制模块不是一个独立的设 备，需集成在E00/E01机箱内工作。
| 型号 | E09.S1 | E09.S3 | E09.L1 | E09.L3 | E09.C1 |
| 功能 | PZT 传感控制模块 | ||||
| 通道数 | 1 | 3 | 1 | 3 | 1 |
| 传感器类型 | SGS | SGS |
|
| CAP |
| 伺服特性 | 模拟 P-I+ 陷波滤波 | 模拟 P-I+ 陷波滤波 | 模拟 P-I+ 陷波滤波 | 模拟 P-I+ 陷波滤波 | 模拟 P-I+ 陷波滤波 |
| 传感器接口 | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.116.CLL |
| 传感器输出接口 | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC |
| 电压输出范围（V） | 0 至 10 | ||||
| 工作温度范围（℃） | 0 至 50 | ||||
