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芯明天P17系列压电扫描台

P17 系列

P17 系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY 轴187.5μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

 

特点

• 位移187.5μm

• 承载能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 闭环重复定位精度高

• 响应速度快

应用

 

• 图像处理与稳定/扫描显微

• 干涉/ 计量

• 表面检测

• 晶圆定位/微操作

阶跃时间

 

 

 

大行程 稳定性好 响应速度快

 

P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台,可以实现XY轴187.5×187.5μm 的位移行程,优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈,与E00/E01 系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm 大通孔,适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

应用实例

 

P17 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用,该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位,可带动晶圆做XY 轴187.5μm 行程范围的纳米级精密定位。

技术参数

 

型号

S-闭环

K-开环

P17.XY200S

P17.XY200K

单位

运动自由度

X、Y

 

行程范围(0~120V)

150/轴

μm

行程范围(0~150V)

187.5/轴

μm

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

闭/开环分辨率

8/5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F.S

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滚动

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

运动方向刚度

X0.2/Y0.2

N/μm

空载谐振频率

X240/Y400

Hz

闭/开环空载阶跃时间

30/5

ms

闭环空载

工作频率

10%行程

50

Hz

100%行程

10

承载能力

1

kg

静电容量

3.6/轴

μF

材质

钢、铝

 

重量

660

g

是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY 轴187.5μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

特点

• 位移187.5μm

• 承载能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 闭环重复定位精度高

• 响应速度快

应用

• 图像处理与稳定/扫描显微

• 干涉/ 计量

• 表面检测

• 晶圆定位/微操作

阶跃时间

大行程 稳定性好 响应速度快

P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台,可以实现XY轴187.5×187.5μm 的位移行程,优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈,与E00/E01 系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm 大通孔,适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

应用实例

P17 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用,该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位,可带动晶圆做XY 轴187.5μm 行程范围的纳米级精密定位。

技术参数

 

型号

S-闭环

K-开环

P17.XY200S

P17.XY200K

单位

运动自由度

X、Y

 

行程范围(0~120V)

150/轴

μm

行程范围(0~150V)

187.5/轴

μm

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

闭/开环分辨率

8/5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F.S

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滚动

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

运动方向刚度

X0.2/Y0.2

N/μm

空载谐振频率

X240/Y400

Hz

闭/开环空载阶跃时间

30/5

ms

闭环空载

工作频率

10%行程

50

Hz

100%行程

10

承载能力

1

kg

静电容量

3.6/轴

μF

材质

钢、铝

 

重量

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