P32系列压电偏转镜提供两轴θx、θy的高速精密偏转运动及Z 轴直线运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度，响应时间可达毫秒量级。

特点

• θx, θy 偏转，Z 轴升降

• 偏转范围达6mrad

• 毫秒级响应时间

• 闭环定位精度高

典型应用

• 图像处理与稳定

• 光学捕获

• 激光扫描与光束偏转

• 激光调谐

• 光过滤/光开关

• 光学/光束稳定

工作原理

P32压电偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的，由三支压电陶瓷驱动，以120°角平分放置，采用坐标变换，运动可以分不同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜，也可实现平台Z向的直线移动，可以用于校正光学路径长度。如下图所示，A、B、C表示测量的3点处位移量，两轴摆角及Z向位移的简便计算公式分别如下。

技术参数

型号：P32

运动自由度：θx, θy, Z

θx, θy偏转角度：5mrad@120V

θx, θy偏转角度：6mrad@150V

Z向行程：30μm@120V

Z向行程：37.5μm@150V

传感器类型：SGS

闭/开环偏转分辨率：0.1/0.05μrad

闭/开环直线分辨率：1/0.5 nm

闭环线性度：0.05%F.S.

闭环重复定位精度：0.02%F.S.

空载谐振频率：2kHz

闭/开环空载阶跃时间：5/2ms

静电容量：3.6μF/轴

材质：钢

重量：350g

推荐控制器-E70压电控制器

E70系列压电控制器是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。该控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。

E70.D3S压电控制器采用DC24V供电、集成数字与模拟控制功能、开/闭环可选、RS-232/RS-422/USB通讯可选、集成式PZT&sensor迷你接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。

技术参数

型号：E70.D3S-I2

功能：数字与模拟集成式控制器

通道数：3

模拟输入范围：0-10V

输出电压范围：0-120V（可选 0-150V）

第三通道恒压输出

峰值电流：1.1A/通道

平均电流：70mA/通道

放大器带宽：10kHz/通道

输出电压纹波：5mV（2.2μF）

PZT连接器：ECG.1B.314（LEMO）

控制输入连接器：SMB

传感器类型：SGS

Sensor输出连接器：EPG.0B.304（LEMO）

传感输出纹波：10mV

通信接口：RS-232/422、USB

上位机软件可二次开发

工作温度范围：0-50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供电电压：24V DC1.5A(36W)

具有过流保护