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差分驱动压电纳米定位台-P16系列升级版

P16系列压电平台是以小体积、大位移而闻名,它的外形尺寸仅60×60×20mm,位移行程可选50μm或100μm,非常小的体积及较低的高度提供了较大的位移。

P16系列XY二维运动压电平台,它的中心具有φ20mm的中心通孔,非常适用于光学应用。

近期,芯明天公司对P16系列进行了升级,对结构和外观进行了改善,使之更加一体化,同时,可靠性也大幅提高。

安装接口

需带载的负载可通过移动面上间距25mm的4个M3螺纹孔或间距16mm的4个M2螺纹孔进行固定,机械接口,安装便捷。

驱动原理

P16系列压电平台是一款特别的运动平台,它采用差分式驱动控制,虽然是二维运动,但它需要一台具有恒压的三通道压电控制器驱动,这是因为它内部每轴的运动都采用两组压电陶瓷差分式驱动,如下图所示。

使用说明/位移曲线

由于差分驱动,P16压电平台的开/闭环位移曲线与非差分驱动式压电平台的会略显不同。以150V驱动电压为例,X轴方向的闭环位移与控制电压的关系如下图所示,Y轴方向的位移&电压曲线与X轴相同。

闭环位移曲线

从上图中可看出,在控制电压为75V时,移动平面的位置会回到施加电压前的初始位置。

技术参数

型号:P16.XY100S/K

运动自由度:X Y

标称行程范围:80或±40μm/@120V

行程范围:100或±50μm/@150V

传感器类型:SGS

通孔尺寸:φ20mm

/开环分辨率:10/5nm

闭环线性度:0.4%F.S.

闭环重复定位精度:0.1%F.S.

俯仰/偏航/滚动:<25μrad

/拉力:30N

运动方向刚度:0.5N/μm

空载谐振频率:400Hz

/开环空载阶跃时间:10/1.6ms

闭环空载工作频率:100Hz@10%行程

闭环空载工作频率:10Hz@100%行程

承载能力:1.5kg

静电容量:3.6μF/

材质:钢、铝

重量:220g

注:P16.XY50S/K的位移范围50μm或±25μm

典型应用

• 显微成像 • 表面检测 • 干涉 / 计量 • 精密定位 • 光学 • 微操作

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