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3000N大出力快速刀具定位台P92.X40|新品

更新时间: 2019-10-26

P92.X40快速刀具定位台内部采用高压压电陶瓷驱动,驱动电压为0~1000V,出力可达3000N。该快速刀具定位台可产生一维X向的微进给运动,进给范围可达40μm,且集成闭环传感器,可保证操作时控制电压与位移间的线性关系。另外,它的机械结构设计坚固,且配有散热接口。

特点:

 行程达40μm    驱动电压0~1000V   出力达3000N   闭环分辨率达10nm   散热孔

 

技术参数:

型号:P92.X40

标称行程范围(0-800V):32μm

行程范围(0-1000V):40μm

传感器类型:SGS

落后相位(1μm/1Khz ):<20°

落后相位(5μm/500hz ):<10°

推力:3000N

运动方向刚度:100N/μm

空载谐振频率:3975Hz

闭环线性度:<0.1%F.S

闭环重复定位精度:<0.1%F.S

闭环分辨率:10nm

静电容量:540nF

材质:钢

开环位移曲线

 

注:上图中,实际施加到快刀定位台的电压值为输入电压的100倍。

闭环精度曲线

闭环分辨率

 

1

增益曲线

 

1

相位曲线

 

1

温升曲线

 

工作条件

温升

1KHz、1μm

0.32℃

500Hz、5μm

11.56℃

20W(P=U^2fC)

45.85℃

1)1kHz、1μm工作条件下温升曲线

2)500Hz、5μm工作条件下温升曲线

3)200Hz、400V工作条件下温升曲线

 

 

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