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压电物镜定位器结合二维压电扫描台用于光学显微成像

更新时间: 2019-08-26

光学显微成像是指透过样品或从样品反射回来的可见光,通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。压电物镜定位器可带动物镜头做Z向超精密运动,XY二维压电扫描台带动样品实现高精度的二维平台位移运动,可使观测精度达纳米级。

光学显微成像原理

压电物镜定位器

压电物镜定位器

芯明天压电物镜定位器是为物镜聚焦显微而设计的Z轴运动压电物镜定位器,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,无摩擦,物镜补偿量小,具有超高聚焦稳定性。聚焦范围可达 500μm,负载可达500g。分立式螺纹设计,可适配多种型号的物镜,也可选择螺纹牙转接器进行转接。物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度。

压电扫描台

芯明天二维压电扫描台具有中心通孔,采用直驱或机构放大原理,柔性铰链支撑传动,内置高可靠性压电陶瓷驱动,扫描范围可达375μm,分辨率可达0.1nm,多种通孔尺寸可选。主要应用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微系统成像等。

驱动控制

压电物镜定位器结合二维压电扫描台可选配三通道压电控制器进行驱动控制,可根据开闭环、阶跃时间等参数要求选择不同型号的控制器。

芯明天E01.D3与E70.D4S压电控制器

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