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压电陶瓷驱动微位移定位系统

在精密加工、微电子、生物工程、医疗科学等各个领域,微位移定位技术都得到了广泛的应用。如用于电化学加工、微雕刻;用于微机电系统的加工与装配;在扫描探针显微镜中,用于测量样品表面形貌等等。

这些领域的发展对微位移定位技术提出了高分辨率、高精度、高频响等要求。芯明天微位移定位系统采用直驱或机构放大设计原理,内部采用高可靠性压电陶瓷作为驱动源,无摩擦无空回的柔性铰链导向机构支撑传动,使其具有分辨率高、响应速度快、无机械摩擦、不受磁场干扰等特点,在上述等领域中得到了广泛的应用。

<< 芯明天压电陶瓷及柔性铰链

芯明天压电叠堆陶瓷具有优异性能及超长使用寿命,多种尺寸及位移集成到微位移定位系统中可满足不同应用的需求。柔性铰链机构结构紧凑且无摩擦,适合与压电陶瓷组成分辨率高,频响高的超高精度微位移定位系统。

<< 芯明天微位移定位系统

压电纳米定位台

芯明天压电纳米定位台可实现X、Z、XY、XZ、XYZ方向精密运动,运动范围大可达375μm,分辨率可达0.1nm。中心通孔版本,非常适用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像等系统。

压电物镜定位器

压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/ 测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

压电偏摆台/偏转镜

压电偏摆台/偏转镜系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用柔性铰链结构设计,确保实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的不错选择。

压电控制器

芯明天压电控制器通过模拟输入或数字输入控制,具有功率放大功能,且输出电压及输出频率可调,控制压电运动产品运动速度及幅度。根据结构形式主要分为模块化式、集成式、工业式、小体积等。多种控制方式及通道数可选。

芯明天科技,专业提供压电纳米运动与控制系统解决方案!

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