P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。

>>产品特点

• 一维X轴运动

• 位移行程68μm

• 承载可达6kg

• 开闭环可选

• 亚毫秒响应时间

>>典型应用

• 干涉/扫描

• 计量

• 质量保证测试

• 微加工/精密控制

• 光盘驱动测试

• 半导体技术

>>开闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现非常高的线性度与重复度。

>>闭环线性度曲线

>>标准连接器

驱动与传感的标准引线控制连接器分别为单芯LEMO连接器、四芯LEMO连接器，也可根据配套压电控制器的接口类型定制连接器。

>>技术参数