激光切割晶圆可分为划片切割与穿透切割。激光经过透镜聚焦，再通过压电物镜定位器调整焦点的位置，使焦点准确的定位在晶圆待切割部位，使被切割部位温度急速升高，然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动，在切割材料上形成切缝从而达到切割的目的。

P76系列压电物镜定位器可快速调节聚焦点即加工点的位置，使其在目标切割位置，聚焦行程可达110μm，分辨率可达2.5nm。

P76系列压电物镜定位器为大负载Z轴运动压电物镜定位器，负载能力可达500g，Z轴直线运动范围可达110μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦，直线性好，闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜。

<<特点

• 大行程110μm

• 大承载500g

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高电

• 聚焦稳定性好  

<<大负载、高频响、高分辨率

P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率，即使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列及挠曲和杠杆元件的优化设计，使它具有较高的刚度，同时保证了优异的导向精度和动态性。

P76压电物镜定位器的大通光孔径为22mm，大负载为500g，它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

<<频率负载曲线

<<开/闭环曲线（带载500g）

<<螺纹适配器便于安装

P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。

<<技术参数