P12 系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3 维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选 25mm 或 35mm，满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴 320μm 的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。

特点

• 1~3 维

• 大位移 320μm

• 大承载 0.8kg

• 台体中心通孔

• 闭环重复定位精度高

1~3 维扫描台

P12 系列压电纳米定位台为 1~3 维直线压电扫描台，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多种规格型号，通孔直径 25mm 或 35mm 可选。

小体积、大位移、中心通孔

P12 系 列 压 电 扫 描 台 采 用 机 构 放 大设 计 原 理， 超 小 的 体 积 外 形， 尺 寸 仅 为60×60×24mm，可以实现大 320μm 的扫描范围，中心通孔可选 25mm 或 35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为 70×70×24mm。

台体采用 FEA 有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高导向精度、纳米级分辨率等优点。P12 系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，确保了扫描台的可靠性与稳定性。

闭环稳定时间

P12 系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为 P12.X100S 负载 125g 达大位移 110μm，闭环稳定时间约 20ms。

闭环线性度

开 / 闭环曲线

典型应用

• 扫描干涉

• 共焦显微

• 晶圆定位

• 表面测量

• 图像处理与稳定

• 光学捕获

频率负载曲线

技术参数

位移测量

出厂前使用电容测微仪进行位移测量

应用案例

倒置显微物镜

P12.XYZ100S 应用于荧光显微