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P77系列压电式移相器

P77.D4 压电式移相器为大口径移相器,中心通孔孔径分别为160mm,特殊的结构设计,与光学平面检测仪相匹配。

 

特点

· 一维 Z 向运动

· 分辨率可达0.5nm

· 通孔尺寸为Ø160mm

· 行程范围20μm

· 大承载10kg

承载能力

P77.D4 的承载能力高达10kg。

 

多点位移测量

出厂前,对多个点进行位移测量,保证运动的直线度。

 

步进曲线

 

开环曲线

 

技术参数

 

以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得

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