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压电式移相器

 

    压电式移相器(也称做压电纳米定位台),是基于压电陶瓷驱动,并通过放大特性的柔性铰链结构设计的压电式微运动纳米运动平台,在电压信号的控制下产生纳米级步进运动,完成干涉中要求的微小移相运动。并且,在其内部配置闭环PID自适应控制,改善了压电陶瓷的非线性,并降低环境所产生的干扰。

    移相干涉术(phase shifting interferometry)是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术,其中核心部件为移相器,一般常用微位移执行器驱动,例如压电式移相器,以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中,并被广泛地应用于各个领域。

    压电式移动器是由压电控制器所驱动,它所能移动的位移与压电控制器施加于它的电压信号有关,并与其大小成线性关系。压电式移相器具有体积小巧、高精度、纳米级高分辨率、响应速度快、高刚度、控制简单且不受磁场影响等优点。

单个PZT压电促动器式移相器

单个PZT压电促动器式移相器(芯明天提供)

芯明天压电式移相器(平台式)

芯明天压电式移相器(平台式)

压电式移相器的作用

    压电式移相器的步进可达纳米量级,用于驱动镜片做平行运动 , 改变参考光的光程 ,从而在物光和参考光之间引入相移量。

四步移相干涉 

四步移相干涉

压电式移相器的设计

    压电式移相器由两部分组成,即压电驱动源及微位移机械传动机构。为消除机械传动过程中的空回与摩擦,并保证对位移的高分辨率要求,芯明天利用不同刚度的弹性材料制成的挠曲铰链结构的微形变及自动回复的特点,设计了放大式柔性链接机械,将驱动源:PZT压电叠堆陶瓷的位移进行放大并率输出。

压电式移相器的PID控制

    压电式移相器的PID控制(调节)即比例、积分、微分控制。它的基础是比例控制,积分控制可消除稳态误差,微分控制可加快大惯性系统响应速度以及减弱超调趋势。它可与PSD等传感形成闭环自适应调节。

芯明天压电式移相器控制器

芯明天压电式移相器控制器

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