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闭环压电系统之重复定位精度

闭环压电系统也是我们所说的在压电执行器内置位置检测传感器,通过外部控制器对检测位置进行实时修正调整的压电系统。

上一期中我们介绍了什么是闭环线性度以及如何计算线性度,本期我们来说说重复定位精度。

重复定位精度表示的是连续多次到达指定位置的偏差。到达指定位置的前提条件必须是相同的输入电压。闭环控制器会通过传感反馈的信号调整驱动电压使监测电压与输入电压相同从而实现高精度闭环控制,此时多次所到位置的偏差为系统的重复精度。重复定位精度受系统预紧、驱动系统、测量系统的非线性等因素影响。

P76压电物镜定位器的重复精度

重复定位精度的测试方法

控制指令重复定位到任意指定位置,采用高精度测微仪准确测量实际到达位置,至少连续10次以上,然后根据得到测量值计算标准偏差值。

重复定位精度的重要性

在很多精密定位应用领域中,重复定位精度至关重要,比如精密车削、样品定位、3D精密检测等,超高的重复定位精度确保了加工、定位、检测精度。

高重复定位精度的压电系统在生物制药、生命科学、医疗诊断等领域同样发挥着非常重要的作用,比如内窥镜三维成像、细胞三维光刻、纳升配药等。

不同压电产品的重复性

重复定位精度只能在闭环控制系统进行检测。芯明天全系列压电产品均可以选择闭环版本,实现纳米级的重复定位精度。重复定位精度的高低与所选择配置的传感器有关,满行程不大于1mm的微动压电产品可选择电阻式或电容式两种传感器。1mm以上大行程马达式压电平台则采用的是光栅尺闭环传感反馈。

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