芯明天直驱机构式压电扫描台 P77压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。《查看更多》

直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台，一体式结构设计原理，压电陶瓷直驱机构，可实现8μm的扫描范围，台体高度仅为17mm，闭环版本具有超高的定位精度，适用于显微扫描等应用。《查看更多》

N65XY芯明天直驱机构式压电扫描台，一体式结构设计原理，压电陶瓷直驱机构，可实现8μm的扫描范围，台体高度仅为17mm，闭环版本具有超高的定位精度，适用于显微扫描等应用。《查看更多》